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        產品中心

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        TSS-3000 EFEM

        EFEM是一個晶圓前端傳輸設備,是一個與SEMI標準兼容的界面系統,可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統提供單線接口供工廠控制,充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務。占地面積小,采用帶外部軸的雙臂機械手,通過雙軸復合運動實現取放片,極大的提高了傳片效率的同時而又降低了產品維護成本。內部全新的氣體導流結構,保證內部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級別,保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內部帶有多重互鎖保護,從軟件到硬件,多重保證晶圓傳輸過程中的安全,人員與設備的安全。

        advantages

        產品優勢
        • 符合SEMI標準
          整機參照SEMI進行設計,符合半導體行業標準
        • 自主研發
          大氣手、aligner、SMIF、buffer等核心部件均自主研發,穩定性高
        • 尺寸多樣性
          采用行業標準尺寸,內部空間布局合理,結構緊湊性強,可根據用戶需求定制
        • 傳輸效率高
          多款大氣手、aligner等部件可供選配,可配置外部軸,大氣手可實現多種取放功能,傳輸效率高
        • 標準化程度高
          內部零部件高度標準化模塊化,互換性高
        • 兼容性強
          可根據用戶的實際需求進行非標定制


        Application areas

        產品應用領域

        parameter

        產品參數
        • 尺寸

          2100*750*2500mm

        • 重量

          ≤1100kg

        • 潔凈等級

          class 1

        • wafer放置位置精度

          ±0.1mm

        • wafer放置角度精度

          ±0.2°

        • WPH

          ≥150

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